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環(huán)境對INFICON RFS100射頻傳感器的影響

點擊次數(shù):932 更新時間:2019-07-08

瑞士INFICON射頻傳感器技術(shù)為半導體加工工具提供高精度,寬帶,頻率判別的射頻測量。該RF數(shù)據(jù)可提供有關(guān)工藝開發(fā)和生產(chǎn)過程問題的實際等離子體條件的詳細信息,從而顯著降低工藝可變性。 這款非侵入式在線電纜安裝RF傳感器是新的優(yōu)良過程控制原位傳感器套件,  與FabGuard傳感器集成和分析系統(tǒng)相結(jié)合 提供關(guān)鍵的診斷信息,例如的腔室和過程功率和阻抗測量,故障的根本原因分析(例如匹配網(wǎng)絡(luò)問題),腔室匹配的過程指紋識別以及PVD,CVD和蝕刻應用中的晶圓計量建模。

采用FabGuard的INFICON射頻傳感器技術(shù)可生成高精度模型,通過測量和執(zhí)行基波和諧波電壓和電流(包括相角測量)的分析來預測晶圓計量結(jié)果,因此工程師能夠控制每個晶圓處理過程中的實際晶圓結(jié)果。現(xiàn)在,F(xiàn)abGuard的強大算功能與RF傳感器技術(shù)相結(jié)合,可基于通過易于理解的用戶界面提供的實時測量和相關(guān)性,顯著提高半導體工藝的可重復性,穩(wěn)定性和準確性。

環(huán)境給INFICON RFS100射頻傳感器影響主要有以下幾個方面:

  1. 高溫環(huán)境對傳感器造成涂覆材料熔化、焊點開化、彈性體內(nèi)應力發(fā)生結(jié)構(gòu)變化等問題。對于高溫環(huán)境下工作的傳感器常采用耐高溫傳感器;另外,必須加有隔熱、水冷或氣冷等裝置。

  2. 粉塵、潮濕對傳感器造成短路的影響。在此環(huán)境條件下應選用密閉性很高的傳感器。不同的傳感器其密封的方式是不同的,其密閉性存在著很大差異。

    常見的密封有密封膠充填或涂覆;橡膠墊機械緊固密封;焊接(氬弧焊、等離子束焊)和抽真空充氮密封。

    從密封效果來看,焊接密封為佳,充填涂覆密封膠為差。對于室內(nèi)干凈、干燥環(huán)境下工作的傳感器,可選擇涂膠密封的傳感器,而對于一些在潮濕、粉塵性較高的環(huán)境下工作的傳感器,應選擇膜片熱套密封或膜片焊接密封、抽真空充氮的傳感器。

  3. 在腐蝕性較高的環(huán)境下,如潮濕、酸性對傳感器造成彈性體受損或產(chǎn)生短路等影響,應選擇外表面進行過噴塑或不銹鋼外罩,抗腐蝕性能好且密閉性好的傳感器。

  4. 電磁場對傳感器輸出紊亂信號的影響。在此情況下,應對傳感器的屏蔽性進行嚴格檢查,看其是否具有良好的抗電磁能力。

  5. 易燃、易爆不僅對傳感器造成*性的損害,而且還給其它設(shè)備和人身安全造成很大的威脅。因此,在易燃、易爆環(huán)境下工作的傳感器對防爆性能提出了更高的要求:在易燃、易爆環(huán)境下必須選用防爆傳感器,這種傳感器的密封外罩不僅要考慮其密閉性,還要考慮到防爆強度,以及電纜線引出頭的防水、防潮、防爆性等。

INFICON RFS100射頻傳感器特征:

  • CVD應用

       - 晶圓計量建模(薄膜應力,薄膜厚度)

       - 真正的處理室輸出功率的有功功率控制

       - FDC(例如等離子體不穩(wěn)定,充電)

       - 室內(nèi)匹配(RF指紋)

  • PVD應用

       - 晶圓計量建模(電阻率)

       - FDC

       - 室內(nèi)匹配(RF指紋)

  • 蝕刻應用

       - 晶圓計量建模(蝕刻速率)

       - 真正的處理室輸出功率的有功功率控制

       - FDC

       - 室內(nèi)匹配(RF指紋)

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